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全自动氦质谱检漏仪

产品时间:2020-06-24

简要描述:

全自动氦质谱检漏仪
型号:JL-300
一、产品介绍
设备内芯采用国外先进技术,具有灵敏度高,反应快,开机时间短等特点JL-300型是一款分体式检漏仪。
检漏仪主要的目的是检查一个真空腔体各个密封处是否有泄漏、漏气的地方。
在这个密封腔体内充满氦气,用质谱检漏仪在不腔体外,不同部位检测,如果密封存在问题,则有氦气泄漏,被质谱仪检测到。

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全自动氦质谱检漏仪

JL-142W(D)型是一款液晶触摸

彩屏显示的全自动氦质谱检漏仪。主

要配置采用检漏仪定制产品。设备内

芯的制造借鉴国外先进技术,整机设

置合理、性能稳定。具有灵敏度高,

反应快,开机时间短等特点。检漏效

果达到国外先进水平。

主要技术指标

1真空模式最小可检漏率:5×10 -13Pam3 /s5×10 -12mbal/s

真空模式漏率显示范围:1×10 -11×10 -13Pam3 /s

2吸枪模式最小可检漏率:5×10 -9Pam3 /s5×10 -8mbal/s

吸枪模式漏率显示范围:1×10 -11×10 -10Pam3 /s

3、启动时间:≤3min

4、响应时间:≤0.5s

5、检漏口的压力:1500Pa

6、电源要求:220v50Hz,单相,10A

7、工作环境:5-35

9、相对湿度:≤80%

9、外形尺寸:500W)×400D)×380H

10、重量:W 42kgD 22kg

主要配置

1、德国普发检漏仪专用分子泵(原装进口)

2W 为油式机械泵,D 为干式机械泵

3、定制检漏仪专用电磁阀

4、专用阀体

5、原装晶圆放大器

6、采用质谱专用模块

7、液晶触摸彩屏

8、双灯丝(氧化钇金丝),自动调氦峰,自动切换

 

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