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MetOne 标准粒子发生装置

产品时间:2021-03-18

简要描述:

MetOne标准粒子发生装置
气体尘埃粒子计数器的校正程序
校正所需设备:
100 级洁净房或洁净台
一台用于作对比,尚在校正期内的尘埃粒子计数器,如 Metone3400
各粒径的标准粒子,如 0.3um 0.5um 1um 等等
标准粒子气体产生器,如 Model 255
可产生脱离水( DI 水)的纯水系统或类似装置
其它普通电器,如 220

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MetOne 255标准粒子发生装置

气体尘埃粒子计数器的校正程序 

校正所需设备: 

100 级洁净房或洁净台 

一台用于作对比,尚在校正期内的尘埃粒子计数器,如 Metone3400 

各粒径的标准粒子,如 0.3um  0.5um  1um 等等  

 标准粒子气体产生器,如 Model 255 

可产生脱离水( DI 水)的纯水系统或类似装置  

  其它普通电器,如 220V 电源插座,万用表等等 

校正的基本原理 

标准粒子(如 0.301um )通过 255 粒子产生器由液状雾化成气体,并由其内置泵通过 0.2um 的过滤器后的干燥气体进入取样管路,这时,将两台相同尘埃粒子计数器同时或先后对取样管进行抽样测试,并比校 0.3um 粒径的测试值。如果其平均值在 20% 以内,认为合格。如果不同型号的粒子计数器,一定要弄清楚其流速,取样时间,取样次数等参数,并且,还要明白怎样理解其测试结果。 

三 . 校正的基本步骤: 

现假设对一台常见的 Metone227B 作校正  

 首先,要清楚 Metone3413 和 Metone227B 有何差别,其测试原理一样,但 Metone3413 流速为 1CFM (立方英尺 / 分钟),而 Metone227B 则为 0.1CFM 。 

首先,请将洁净台开机,工作半小时,其间内也打开 Metone227B 和 Metone3413 ,让其预热半小时。  

  准备好 255 的取样器管,并搭接好其所有气体管路。  

 将配好的标准液(如 0.301um )放入脱原子瓶中,注意勿让液体超过喷嘴。  

  设置 Metone3413 和 Metone227B 的基本参数 

取样时间都设置为 00 : 01 : 00  

 取样次数都设置 03 

取样模式都设置为 Auto 

间隔时间都设置为 00 : 00 : 05  

 读数模式都设置为 Cumulative 

注:以上设置相同,因其流速有 10 倍差,故 Metone3413 测试结果会是 Metone227B 的 10 倍。  

 此时,打开 255 电源,调节脱原子气体阀和干燥气体阀,在调至喷嘴阀处呈气雾出现,干燥气体流速计约 60SCFH 时后,保持其工作状态。  

 此时,让 Metone227B 和 Metone3413 同时工作,看其三次的平均结果,若在 20% 以内,视为合格。  

 拆下脱原子瓶,重新滴入其它标准粒子,重复该测试。  
  以上校正只是对比校正,尚可用万用表对其基本参数测量,用示波器对其信号捕捉等来辅助调校。 
价格说明

一般情况下:
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活动预热状态下:
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伙拼折上折活动状态下:
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