产品时间:2023-03-12
MET ONE5远程空气颗粒计数器(传感器)特点:长寿命激光技术从而降低了使用成本流量1cfm(28.3 升/ 分),可小监控0.3μm(4503)和0.5μm(4505)粒径颗粒0.3-5.0μm和0.5-10.0μm监测范围RS422 脉冲或者RS485Modbus, 输出接线方式为RJ45 与FMS 系统连接和通讯应用:电子半导体厂洁净室空气监控,惰性气体采样
特点:长寿命激光技术从而降低了使用成本流量1cfm(28.3 升/ 分),可小监控0.3μm(4503)和0.5μm(4505)粒径颗粒0.3-5.0μm和0.5-10.0μm监测范围RS422 脉冲或者RS485Modbus, 输出接线方式为RJ45 与FMS 系统连接和通讯应用:电子半导体厂洁净室空气监控,惰性气体采样和微环境监控
特点:长寿命激光技术从而降低了使用成本流量1cfm(28.3 升/ 分),可小监控0.3μm(4503)和0.5μm(4505)粒径颗粒0.3-5.0μm和0.5-10.0μm监测范围RS422 脉冲或者RS485Modbus, 输出接线方式为RJ45 与FMS 系统连接和通讯应用:电子半导体厂洁净室空气监控,惰性气体采样和微环境监控性能:监控小粒径尺寸0.3μm(4503) 0.5μm(4505)流速采用小流量0.1cfm(2.83 升/ 分)粒径通道数为2粒径通道 4503 0.3-5.0μm 4505 0.5-10.0μm计数效率 4503 50%@0.3μm 100%@>0.45μm 450550%@0.5μm 100%@>0.75μm激光光源为长寿型激光二极管(10 年 MTTF);浓度损失为<5%@2,000,000颗/ft3电源采用9-28VDC;通讯协议方式为Modbus 或脉冲