产品展示
PRODUCT DISPLAY
产品展示您现在的位置: 首页 > 产品展示 > 日本京都 > 其他热分析仪器 >准自动膜厚测量系统

准自动膜厚测量系统

产品时间:2022-03-16

简要描述:

日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F6
F50机型,带缺口检测、自动基线功能和互锁机制
自动测量对准、基线和薄膜厚度映射

在线咨询 点击收藏

日本filmetrics对准自动膜厚测量系统F60

1

F60自动测绘膜厚测量系统是F50的机型,具有缺口检测、自动基线功能和互锁机制。
只需将样品放在载物台上,然后单击测量按钮即可自动执行对齐、基线和膜厚映射。

 

主要特点

 

  • F50机型,带缺口检测、自动基线功能和互锁机制

  • 自动测量对准、基线和薄膜厚度映射

主要应用

半导体
抗蚀剂、氧化膜、氮化膜、非晶/多晶硅等

产品阵容

模型F60-tF60-t-UVF60-t-近红外F60-t-EXR测量波长范围膜厚测量范围准确性




380 – 1050nm
190 – 1100nm950 – 1700nm380 – 1700nm
20nm – 70μm5nm – 40μm100nm – 250μm20nm – 250μm
± 0.2% 薄膜厚度± 0.4% 薄膜厚度± 0.2% 薄膜厚度
2纳米1纳米3纳米2纳米

测量示例

可以测量硅晶片上的氧化膜、抗蚀剂等。只需设置样本,对齐、参考等将完全自动完成。


留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7
联系方式
  • 电话

在线客服