日本filmetrics板厚测量系统F3-sX
可以高精度测量硅基板和玻璃基板的厚度。
通过安装初开发的具有高波长分辨率的光谱仪，可以测量高达 3 mm 的厚膜。
凭借 10 μm 的小光斑直径，可以测量粗糙和不均匀的薄膜。
通过添加自动载物台，可以轻松测量面内分布。

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