产品时间：2023-03-14
日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT主要特点集成测量单元和测量台的紧凑型台式测量系统光谱范围广，可选择多种光源反射率和透射率同时测量，膜厚、折射率和可用分析能力消光系数标准维护时间记录的相机测量位置放个样品就行了。无需调整光学系统，设置非常简单
日本filmetrics反射/透射/薄膜厚度测量系统F10-RT
集成测量单元和测量台的紧凑型台式测量系统
光谱范围广，可选择多种光源
反射率和透射率同时测量，膜厚、折射率和可用分析能力消光系数
标准维护时间记录的相机测量位置
放个样品就行了。无需调整光学系统，设置非常简单
| 聚酰亚胺、ITO、抗蚀剂、氧化膜、抗反射涂层、PET和玻璃基板上的各种光学膜 |
| 玻璃、眼镜、镜片等的硬质涂层。 |
| CdTe、CIGS、非晶硅等 |
模型
F10-RT
-紫外线
F10-RTF10-RT
-近红外
F10-RT
-近红外
F10-RT
-UVX
测量波长
范围
膜厚测量
范围
性
光源
| 190 – 1100nm | 380 – 1050nm | 950 – 1700nm | 380 – 1050nm | 380 – 1050nm |
| 1nm – 40μm | 15nm – 70μm | 100nm – 150μm | 15nm – 150μm | 1nm – 150μm |
| ± 0.2% 薄膜厚度 | ± 0.4% 薄膜厚度 | ± 0.2% 薄膜厚度 | ||
| 1纳米 | 2纳米 | 3纳米 | 2纳米 | 1纳米 |
氘· 卤素 | 卤素 | 氘· 卤素 | ||
平板中使用的透明电极ITO的膜厚和折射率的测定例
同时测定反射率和透射率。薄膜厚度分析 FIL Measure 软件可即时分析薄膜厚度、折射率等。
