日本filmetrics显微自动膜厚测量系统F54
F54显微自动膜厚测量系统是将微小区域内的高精度膜厚/光学常数分析功能与自动高速载物台相结合的系统。兼容 2 英寸到 450 毫米的硅基板，它可以以的速度在点测量薄膜厚度和折射率。

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