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日立白光干涉显微镜

产品时间:2024-06-02

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简要描述:

日立白光干涉显微镜
搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具"。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数,但在对比样品时,选择评估的参数很难,成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具",通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出对比样品的参数,从而支持客户的分析业务。 在半导体、汽车、食品、医

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日立白光干涉显微镜VS1800



日立科学公司于2019年3月起,在中国开始销售利用光干涉原理

进行非接触式无损伤三维表面形态测量的纳米尺度3D光学干涉测量系统“VS1800",该产品搭配有支持多目的表面测量标准“ISO 25178*1参数对比工具",通过简单而的样品测量支持客户的分析业务,与此同时,凭借不断创新积累的三维测量性能,实现高精度、高分辨率的表面性状的测量。

  此次发售的“VS1800"产品, 搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具"。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数,但在对比样品时,选择评估的参数很难,成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具",通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出对比样品的参数,从而支持客户的分析业务。 在半导体、汽车、食品、医药品等产业领域的材料研究和开发方面,为了提高产品的性能与功能,对产品表面的粗糙度、凸凹不平、翘曲等表面形状的评估变得尤其重要。以往,表面形态的测量方法,一般是采用触针式粗糙度测量仪等进行二维测量(线+高差),但近年来,伴随着材料的薄膜化和微细构造化的加速,需要获取更多的信息,因此,采用扫描型白光干涉显微镜*2和激光显微镜*3等进行三维测量(面+高差)便得到了灵活应用

    此次发售的“VS1800"产品, 搭配了符合ISO 25178标准的分析工具 “ISO 25178参数对比工具"。在ISO 25178标准中规定了评估表面性状的32个项目的参数,但在对比样品时,选择评估的参数很难,成为分析业务的难题。“ISO 25178参数对比工具",通过按差异程度大小顺序自动对测量的参数值进行依次排序,可轻松选出对比样品的参数,从而支持客户的分析业务。

此外,“VS1800" 产品,通过光干涉方法*4除了可实现大视野测量、0.01nm的垂直方向分辨率*5、高重现性外,亦通过日立科学自主研发的技术,继承了多层膜的无损伤测量等传统产品的高测量性能。此外,该产品还可搭配大倾斜角测量选配 "*6功能,通过捕捉大倾斜角斜面的微弱的干涉条纹变化,实现传统的光干涉方式无法实现的大倾斜角斜面测量,从而应对多种多样的样品表面性状的三维测量。

  日立集团拥有可实现极微细样品的高分辨率测量的原子力显微镜、扫描电子显微镜直至大视野、高精度测量可能的“VS1800"产品阵容,提供表面分析解决方案,从而满足客户的广泛需求。

*1 ISO 25178:规定表面形态评估方法的标准。

*2扫描型白色干涉显微镜:利用光干涉原理进行非接触式、无损伤的表面形态测量的测量设备。

*3激光显微镜:将激光作为光源进行表面形态测量的测量设备。

*4光干涉方法:是利用两列或两列以上的光波相互叠加而出现光明暗(干涉条纹)现象(干涉)的检查方法。

*5 0.01 nm的垂直方向分辨率为Phase模式时的性能。

*6“大倾斜角测量选配"为选择项目。

【主要特点】

(1)高测量性能

?垂直方向分辨率:利用光干涉方法,通过独自的算法,实现0.01 nm*的垂直方向分辨率

?重现性:利用干涉条纹测量凸凹的高度,通过将来自Z驱动机构的影响小化,实现0.1 %以下的重现性

?测量速度无损伤测量:通过日立科学自主研发的技术,对玻璃和薄膜等透明多层结构样品进行测量时,无需对样品进行加工切割成截面,即可在无损伤的情况下,完成多层结构样品的各层厚度或异物混入状况的确认以及缺分析等 由于不需要样品的前处理,只要将样品放置在样品台上即可完成测量准备。通过光干涉方法 快5秒钟即可完成测量

?测量视野:以从干涉条纹获取的信息为基础进行凸凹高度的测量,由此可实现广范围(One-shot 大6.4 mm×6.4 mm)测量与高垂直方向分辨率的两者兼顾。此外,通过连接多个数据的图像,可进一步实现广范围的分析

* Phase模式时

(2) 易于使用的操作界面

采用直观易懂的操作界面,能够轻而易举地进行图像分析处理前后的图像对比,从而支持分析时的合适图像处理选择。此外,可简单地列出处理与分析的内容、创建独自的分析参数、重复使用分析参数等,并且还可批量处理数据,由此实现统一管理多个样品和分析结果,减轻繁琐复杂的后处理。

(3) ISO 25178参数对比工具

在对比多个样品时,通过将ISO 25178标准中规定的32项参数值按差异的大小顺序重新排列,从而在样品对比时能够轻松选取适参数,支持客户的分析业务。

(4) 硬件升级

按每一台XY样品台的驱动方式,设计了3个类型的产品,即基础模式的手动型Type 1、电动型Type 2Type 3。从Type 1Type 2Type 3,均可根据不同的用途进行升级。

日立科学仪器(北京)有限公司为您提供日立白光干涉显微镜VS1800的参数、价格、型号、原理等信息,日立白光干涉显微镜VS1800产地为日本、品牌为日立,型号为VS1800,价格为面议,更多相关信息可,公司客服电话7*24小时为您服务


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